Tikslumo kertinis akmuo: plokštelių klijavimo ir poliravimo įrangos prevencinės priežiūros vadovas
Labai reikalaujančiame puslaidininkių gamybos pasaulyje klijavimo ir poliravimo procesai yra labai svarbūs norint pasiekti nepriekaištingą paviršiaus tobulumą, reikalingą šiuolaikiniams integriniams grandynams. Vaflių klijavimo ir poliravimo įranga veikia itin tiksliai, susidorodama su abrazyvinėmis srutomis, aukštu slėgiu ir subtiliomis medžiagomis. Bet koks našumo nukrypimas gali sukelti katastrofišką derliaus praradimą dėl įbrėžimų, išbrinkimo ar nevienodo storio.
Galingiausias įrankis, užtikrinantis pastovią kokybę, maksimalus veikimo laikas ir apsaugotas kapitalo investicijas, yra ne sudėtingas atnaujinimas, o griežtai atliktas.Prevencinės priežiūros (PM) programa. Šiame straipsnyje aprašomi pagrindiniai šios jautrios įrangos PM kontrolinio sąrašo komponentai.
Prevencijos filosofija
Reaktyvi techninė priežiūra-problemų taisymas jiems atsiradus-yra brangiausias būdas tokioms mašinoms. PM yra iniciatyvi strategija, skirta:
Užkirsti kelią netikėtoms prastovoms:Nustatykite ir išspręskite problemas, kol jos nesukels mašinos gedimo.
Užtikrinti proceso nuoseklumą:Palaikykite tikslias mechanines ir chemines sąlygas, reikalingas pakartojamiems rezultatams.
Pailginti įrangos tarnavimo laiką:Sumažinkite svarbiausių komponentų nusidėvėjimą.
Padidinkite saugumą:Sumažinkite riziką, susijusią su cheminių medžiagų tvarkymu, aukšto{0}}slėgio sistemomis ir judančiomis dalimis.
Išsamus PM kontrolinis sąrašas turėtų būti atliekamas suplanuotais intervalais (kasdien, kas savaitę, kas mėnesį) ir apima šias pagrindines sritis.
Vaflių klijavimo ir poliravimo įrangos prevencinės priežiūros kontrolinis sąrašas
I. Kasdienės patikros (operatoriaus{1}}lygis)
Tai yra greitas vizualinis ir operatyvinis patikrinimas, atliekamas kiekvienos pamainos pradžioje arba pabaigoje.
1. Vizuali apžiūra:
Patikrinkite, ar aplink siurblius, vamzdelius ir jungtis nėra matomų skysčio (vandens, srutų, cheminių medžiagų) nuotėkio.
Patikrinkite, ar poliravimo plokštelėje ir laikiklyje nėra per didelio susidėvėjimo, įtrūkimų ar susikaupusių likučių.
Įsitikinkite, kad plotas aplink įrangą yra švarus ir be šiukšlių.
2. Srutų sistema:
Patikrinkite, ar srutų ir cheminių medžiagų tiekimo rezervuaruose yra pakankamai lygių.
Jei reikia, sumaišykite srutų rezervuarus, kad jie nenusėstų.
Patikrinkite, ar srutų ir srutų tiekimo linijose nėra susilenkimų, užsikimšimų ar oro burbuliukų.
3. Pagrindinės funkcijos:
Atlikite bandomąjį važiavimą be plokštelės, kad įsitikintumėte, jog visos ašys juda sklandžiai ir tyliai.
Klausykitės neįprastų variklių, siurblių ar guolių garsų.
Patikrinti Patikrinkite, ar veikia avariniai stabdikliai ir apsauginiai užraktai.
II. Kassavaitiniai / du{1}}savaitiniai patikrinimai
Šios užduotys apima išsamesnį valymą ir patikrinimą, kad būtų išvengta laipsniško veikimo pablogėjimo.
1. Gilus valymas:
Išmontuoti ir išvalyti:Išvalyti:Nuimkite poliravimo pagalvėles (jei nepakeistos), laikiklius ir laikančius žiedus.
Šveitimo plokštelė:Kruopščiai nuvalykite poliravimo plokštelės paviršių, kad pašalintumėte įsiskverbusias daleles ir įsisenėjusius likučius.
Švarūs srutų purkštukai:Atskleiskite ir nuplaukite srutų dozavimo purkštukus, kad užtikrintumėte tolygų ir tolygų srautą.
2. Mechaninės sistemos patikrinimas:
Patikrinkite pavaros diržus:Patikrinkite, ar diržai neįtempti, nesusidėvėję ir ar nėra įstiklinimo. Prireikus sureguliuokite arba pakeiskite.
Tepimas:Patikrinkite nurodytų guolių ir kreipiamųjų bėgių tepimo lygį. Papildykite patvirtintais tepalais.
Vežėjo plėvelės apžiūra:Patikrinkite nešiklio plėvelės arba pagrindo medžiagos būklę ir pakeiskite, jei ji susidėvėjusi.
3. Vandens ir cheminės sistemos:
Patikrinkite ir išvalykite vandens filtrus (DI/RO), kad išlaikytumėte grynumą ir slėgį.
Patikrinkite cheminių medžiagų linijas ir vožtuvus, ar nėra korozijos ar nuotėkio.
III. Mėnesiniai / ketvirtiniai patikrinimai
Tai išsamesni patikrinimai, kuriems dažnai prireikia apmokyto techniko, kad įvertintų ilgalaikę sistemos būklę-.
1. Išplėstinė Išplėstinė mechaninė apžiūra:
Guolių ir veleno sveikata:Patikrinkite, ar nėra laisvumo arba šiurkštumo pagrindiniame plokšteliniame velene ir laikiklio galvutės guoliuose. Stebėkite variklio srovės suvartojimą, ar nėra anomalijų.
Plokštumo matavimas:Norėdami patikrinti poliravimo plokštės plokštumą, naudokite granito plokščius ir jutiklinius matuoklius arba interferometrą. Pakartokite{1}}, jei neatitinka specifikacijų.
Slėgio ir sumažinimo{0}}jėgos kalibravimas:Naudodami kalibruotą manometrą patikrinkite taikomų slėgių tikslumą.
2. Valdymo ir elektros sistemos:
Jutiklio patikra:Įsitikinkite, kad padėties jutikliai, artumo jungikliai ir temperatūros jutikliai veikia tinkamai.
Elektros spinta:Patikrinkite, ar nesikaupia dulkės, ir išvalykite korpuso aušinimo ventiliatorių filtrus.
Patikrinkite gnybtų jungčių sandarumą.
3. Skysčių sistemos vientisumas:
Atlikite išsamų visų siurblių (srutų, cheminių medžiagų, kanalizacijos) našumo ir sandariklio vientisumo patikrinimą.
Patikrinkite visą atliekų nuvedimo sistemą, ar nėra užsikimšimo ar apribojimų.
Dokumentacija: paskutinis, svarbus žingsnis
Kontrolinis sąrašas yra veiksmingas tik tada, kai jis yra dokumentuotas. Už kiekvieną atliktą užduotį turi būti užregistruota:
Data ir laikaspriežiūros.
Technikos vardaskurie atliko darbus.
Pradinė būklėkomponento.
Veiksmai, kurių imtasi(pvz., „išvalyta“, „pakoreguota“, „pakeista“).
Naudotos dalys(su atsargų sekimo dalių numeriais).
Galutinis patvirtinimaspatvirtinant, kad įranga buvo išlaikyta po{0}}priežiūros bandymų.
Šis žurnalas sukuria vertingą istoriją, leidžiančią šalinti pasikartojančias problemas ir planuoti būsimas kapitalo išlaidas.
Išvada
Gaminant puslaidininkius, kai dėl nanometro{0}}mastelio netobulumų plokštelė gali tapti nenaudinga, paklaidos riba yra beveik lygi nuliui. Drausminga, gerai{2}}dokumentuota prevencinės priežiūros tvarka, taikoma glaistymo ir poliravimo įrangai, nėra tik rekomendacija-, tai yra esminis reikalavimas, esminis reikalavimas, kad darbo kokybė būtų tobula. Sistemingai rūpindamiesi mašina, kuri rūpinasi plokštelėmis, gamintojai užtikrina gamintojus, kad jie apsaugotų savo gaminių kokybę, optimizuotų savo gamybos liniją ir užtikrintų investicijų grąžą į negailestingai konkurencingą pramonę.
