Kaip išsirinkti tinkamą vaflių klijavimo ir poliravimo mašiną
Didelės svarbos{0}}puslaidininkių gamybos pasaulyje plokštelių paviršiaus paruošimo kokybė yra svarbiausia. Plyšimo ir poliravimo procesai yra svarbūs žingsniai, kuriais pjautinė plokštelė paverčiama nesugadintu,{2}}be defektų pagrindu, paruoštu litografijai. Tinkamos mašinos pasirinkimas šioms užduotims nėra tik pirkimas; tai strateginė investicija, kuri turi tiesioginės įtakos derliui, našumui ir bendroms gamybos sąnaudoms.
Norint pasirinkti idealią įrangą, reikia atidžiai išanalizuoti konkrečius poreikius ir mašinos galimybes. Štai pagrindiniai veiksniai, į kuriuos reikia atsižvelgti.
1. Apibrėžkite savo pagrindinį pritaikymą ir medžiagas
Pirmas ir svarbiausias žingsnis yra apibrėžti, ką ketinate apdoroti. Reikalavimai labai skiriasi priklausomai nuo medžiagos ir galutinio tikslo.
tikslas.
Vaflių tipas:Ar dirbate su tradiciniu siliciu (Si), kietomis ir trapiomis medžiagomis, tokiomis kaip silicio karbidas (SiC) arba galio nitridas (GaN), arba su trapiais sudėtiniais puslaidininkiais, tokiais kaip galio arsenidas (GaAs)? Kietesnėms medžiagoms reikalingos tvirtesnės, galingesnės mašinos su specifinėmis abrazyvinėmis srutomis.
ProcesasProceso tikslas:Tikslas yra tik dėlretinimas(pvz., maitinimo įrenginių maitinimui arba 3D integracijai), ar jis skirtas pasiektiepi-paruoštas paviršius su atominiu-tobulumu? Lyginimas puikiai tinka greitam medžiagos pašalinimui ir plonėjimui poliruojant (ypač cheminiam mechaniniam poliravimui
- CMP) yra būtinas norint užtikrinti itin{0}}lygius, nepažeidžiamus{1} paviršius.
Įrenginio tipas:Reikalavimai MEMS įrenginiams skiriasi nuo pažangių loginių lustų ar fotoninių integrinių grandynų reikalavimų.
2. Suprasti svarbiausius našumo rodiklius
Pagrindinę mašinos funkciją apibrėžia jos gebėjimas atitikti tikslias specifikacijas. Pagrindinės metrikos apima:
Galutinis storis ir TTV (bendras storio pokytis):Koks jūsų tikslinis storis? Mašinos Mašinos turi nuolat tai pasiekti su minimaliu TTV. Ieškokite sistemų, žinomų dėl aukščiausios plokštumos, slėgio kontrolės ir laikiklio konstrukcijos, kad užtikrintumėte vienodumą visoje plokštelėje.
Paviršiaus šiurkštumas (Ra):Matuojant angstromais (Å) arba nanometrais (nm), tai apibrėžia lygumą. Poliravimo mašina turi užtikrinti paviršiaus apdailą, pagal kurią jūsų technologinis mazgas reikalauja-dažnai reikalingos žemesnės nei 1 Å šiurkštumo vertės pažangioms reikmėms.
Medžiagos pašalinimo greitis (MRR):Tai lemia pralaidumą. Didesnis MRR yra pageidautinas siekiant produktyvumo, tačiau turi būti subalansuotas su rizika, kad bus padaryta žala po- paviršiumi. Įrenginys turi turėti valdomą MRR per reguliuojamą slėgį, plokštelės greitį ir suspensijos srautą.
3. Įvertinkite našumą ir automatizavimo poreikius
Gamybos apimtis yra pagrindinis sąnaudų ir konfigūracijos veiksnys.
MTTP ir didelės apimties{1} gamyba (HVM):
UžMTTP arba bandomosios linijos, svarbiausia yra lankstumas. Pusiau -automatinis arba vienkartinis{2}}vaflių įrankis leidžia dažnai keisti receptus ir tobulinti procesą.
UžHVM, pirmenybę teikite visiškai automatizuotoms, didelio{0}}pralaidumo sistemoms su kasetės-į-kasečių tvarkymu, integruota metrologija, skirta stebėjimui vietoje, ir ilgu veikimo laiku.
Paketinis apdorojimas, palyginti su pavieniu{1}}vafliu:Paketinės sistemos gali apdoroti kelias plokšteles vienu metu, padidindamos pralaidumą. Vienos-plokštelės įrankiai dažnai užtikrina puikų proceso valdymą ir kiekvienos atskiros plokštelės vienodumą, o tai labai svarbu pirmiesiems{2}}kraštiniams mazgams.
4. Kruopščiai išnagrinėkite technines specifikacijas
Pasinerkite į pačios mašinos inžinerines detales:
Plokštės ir laikiklio dizainas:Įprastos daugialypės plokštumos-konfigūracijos, leidžiančios atlikti grubų poliravimą, smulkų poliravimą ir valymą per vieną ciklą. Laikiklis turi tvirtai laikyti plokšteles be slydimo ar iškraipymų (pvz., naudojant vakuuminius griebtuvus arba vaško tvirtinimo įtaisus).
Slėgio ir greičio valdymas:Tikslus, programuojamas prispaudimo jėgos ir sukimosi greičio valdymas yra būtinas pakartojamumui ir Prestono lygties optimizavimui (medžiagos pašalinimas ≈ slėgis × greitis).
Srutų tiekimo sistema:Dėl nuoseklaus, vienodo ir{0}}neužsikimšusio srutų pristatymo negalima-derėtis dėl stabilių rezultatų. Sistema turi apdoroti tiek rūgštines, tiek šarmines chemines medžiagas, turinčias atitinkamą atsparumą korozijai.
Integruotas galutinio taško aptikimas:Pažangios sistemos naudoja jutiklius (pvz., optinius, variklio sukimo momento), kad nustatytų, kada pasiekiamas norimas storis arba paviršiaus būklė, pašalinant per
- arba nepakankamai{0}}apdorojamas ir sumažinamas pasitikėjimas{1}}poprocesiniais matavimais.
5. Apsvarstykite bendrąsias nuosavybės išlaidas (TCO)
Pradinė pirkimo kaina yra tik dalis istorijos. Išsami TCO analizė apima:
Eksploatacinių medžiagų kaina:Atsižvelgiama į nuolatines poliravimo trinkelių, suspensijų, deimantų diskų ir laikančiųjų žiedų išlaidas.
Komunalinių paslaugų suvartojimas:Įvertinkite mašinos reikalavimus švariam sausam orui (CDA), galiai ir itin grynam vandeniui (UPW).
Priežiūra ir aptarnavimas:Koks numatomas vidutinis laikas tarp gedimų (MTBF)? Įsitikinkite, kad tiekėjas siūlo patikimą techninę pagalbą, lengvai prieinamas atsargines dalis ir išsamias aptarnavimo sutartis.
Pėdsakas:Švarioje patalpoje erdvė yra brangi. Kompaktiškas ir efektyvus plotas yra didelis privalumas.
6. Įvertinkite pardavėjo reputaciją ir palaikymą
Mašina yra tokia gera, kokia yra už jos esanti įmonė.
Įrodytas įrašas:Pasirinkite pardavėją, turintį didelę istoriją ir įdiegtą bazę jūsų konkrečioje taikymo srityje.
Aptarnavimas ir mokymai:Kokybiški operatorių ir techninės priežiūros darbuotojų mokymai- yra labai svarbūs siekiant maksimaliai padidinti mašinos veikimo laiką ir procesų nuoseklumą.
Atsarginių dalių prieinamumas:Įsitikinkite, kad svarbios atsarginės dalys yra lengvai prieinamos, kad sumažintumėte prastovos laiką.
Išvada
Tinkamos plokštelių padengimo ir poliravimo mašinos pasirinkimas yra daugialypis{0}}sprendimas, kuriame suderinami techniniai reikalavimai, techniniai reikalavimai, veiklos efektyvumas ir ilgalaikiai finansiniai aspektai. Sistemingai įvertindami programos poreikius, reikiamą našumo metriką, pralaidumo tikslus ir visas nuosavybės išlaidas, galite priimti pagrįstą pasirinkimą. Bendradarbiaudami su gerbiamu pardavėju, kuris siūlo tvirtas technologijas ir išskirtinį palaikymą, užtikrinsite, kad jūsų investicijos pateiks nepriekaištingas plokšteles, reikalingas naujos kartos elektroniniams įrenginiams.
